Методы анализа поверхности твердых тел

Сумы: СумГУ, 2008. - 158 с
Пособие содержит материалы лекций по дисциплине "Приборы и методы анализа твердых тел". Изложены фундаметальные вопросы об атомной структуре, особенностях электронной подсистемы и композиционном составе поверъхностей твердых тел. Описаны физическая и химическая адсорбция. Показана взаимосвязь между электронными, атомными и молекулярными процессами, происходящими на поверхности твердого тела и в адсорбционной фазе. Приведена классификация существующих методов анализа и рассмотрена электронная оже-спектроскопия, имеющая высокую поврхностную чувствительность. Показано, как этот метод вместе с ионным распылением можно использовать для профилирования по глубине. Для студентов высших учебных заведения, обучающихся по специальностям направления "Электронные приборы и системы".